无掩膜激光直写光刻机
项目所在采购意向：
南京大学年至月政府采购意向
采购单位：
南京大学
采购项目名称：
无掩膜激光直写光刻机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
半导体器件参数测量仪
采购需求概况 ：
南京大学拟采购无掩膜激光直写光刻机一套，主要用于微纳尺度下，直接通过计算机控制激光束进行高精度、定制化的复杂二维或三维结构加工与制备。主要采购需求如下：)工作方式：无掩膜激光直写光刻；)最大曝光面积：≤*；)最大基板厚度：；)极限解析：≤；)套刻精度：≤@；)主动聚焦范围：≥±μ；)线宽均匀性：≤ @；)曝光区域温度稳定性：± . ℃；)曝光面能量均匀性：≤%；)最大产能：≥/ @.μ；)光源：光源，功率，波长；)具备自动对准功能；)具备自定义标记对准功能；)具备可视化定点曝光功能；)具备不规则样片曝光功能；)质保期：年。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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