原子层沉积设备
项目所在采购意向：
年月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
原子层沉积设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电气物理设备
采购需求概况 ：
采购标的物名称：原子层沉积设备； 采购数量：台； 采购标的物要求：主要用于致密、均匀、厚度原子层可控绝缘介质层和导点层沉积。具备热法沉积和等离子体增强沉积两种方式，可以实现氧化铝、氧化硅、氧化铪等介质层材料的沉积及、等导电材料的沉积，具备至少两个工艺腔室，厚度表面粗糙度小于.，最大尺寸达到英寸，片内厚度均匀性＜%。货期：从合同签订在个月内交货；保修期:年，提供现场技术咨询，提供免费培训，保内维修承诺: 免费更换配件，报修承诺: 小时。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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