真空团簇腔体
项目所在采购意向：
年月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
真空团簇腔体
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
真空获得设备
采购需求概况 ：
采购标的物名称：真空团簇腔体； 采购数量：套； 采购标的物要求：兼容英寸及以下晶圆，真空度达到-量级，真空检漏漏率：小于×-./机械手伸长的最长距离为毫米，定位精度达到.毫米。团簇超高真空腔室、团簇系统与工作站设备对接系统、团簇控制系统，确保样品能够在不同表征设备之间无缝传输，避免因样品转换而导致的性能损失。货期个月，提供现场培训，保质年；保期内承诺提供免费人工与部件，小时响应。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
