衬底钝化设备
项目所在采购意向：
年月政府采购意向
采购单位：
采购项目名称：
衬底钝化设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电气物理设备
采购需求概况 ：
采购标的物名称：衬底钝化设备； 采购数量：台； 采购标的物要求：晶圆尺寸英寸；稀土钝化层：单原子层；均一性：英寸范围内不均匀性&;%.；满足英寸晶圆表面的均匀钝化，实现晶圆级的稀土氧化物单分子层表面钝化，构筑原子级平整的低对称表面，且满足后续材料生长所要求的热稳定性、化学稳定性。货期：合同签订后年，保修期:年，提供现场技术咨询，提供免费培训，
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
