浸没式涂胶显影机
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
浸没式涂胶显影机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
电子工业生产设备
采购需求概况 ：
主要用于浸没式光刻胶的旋涂，烘烤以及显影。并具备和浸没式光刻机联机功能，能够进行曝光前晶背处理以及曝光后表面处理。涂胶均匀性需满足浸没式曝光需求；具备负显影工艺能力。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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