主要设备：CSD涂源机、大束流注入机、离子注入机、显影通道、槽式PI显影柜、匀胶显影机、涂胶显影一体机、PI涂胶显像机、匀胶机、PT涂源台、贴膜机、甩干机、集电极腐蚀机、剥离去胶槽、双面银铝腐蚀机、挡片清洗机、片架片盒清洗机、清洗柜、擦片机、泡酸柜、有机清洗机、超声清洗机、清洗酸槽、光刻机、扩散炉、揭膜机、氧化炉、烘箱、发泡机、等刻台、水淋塔、打标机、测试仪、全自动测试台、显微镜、老化台、检测仪、台阶仪、祛湿氮气柜、芯片取置机等。