原位器件级图案化分子束外延设备
项目所在采购意向：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购项目名称：
原位器件级图案化分子束外延设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
其他电工、电子生产设备
采购需求概况 ：
本设备用于沉积高精度掩膜 以下的图形生长，系统集薄膜沉积生长、样品传递及原位监测功能于一体，设计生长腔体集成薄膜制备源炉，具备可旋转升温样品台、磁力杆及配套抓手、、、四极质谱仪等仪器、横向安装的可倾斜的，可满足图形化制备，且能达到低温 功能。本系统包含低温生长腔、预处理腔、存储腔、个-源、个裂解源以及一个电子束蒸发源；各腔室利用（圆形样品传样腔）进行连接，实现自动化传样。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
