离子刻蚀机
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
离子刻蚀机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：离子刻蚀机 主要功能： 用于实现英寸基片上的高密度、小尺寸存储器件的均匀刻蚀。 采购标的数量：台 质量要求： 、单器件尺寸优于，间距低于； 、离子束源和基片表面相对角度：-度可调； 、具备元素分析功能，实时监测被刻蚀元素含量； 、可精确控制复杂结构功能层材料的刻蚀深度和刻蚀选择比。 服务、安全、时限等要求： 提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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