吋超声扫描设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
吋超声扫描设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-其他分析仪器
采购需求概况 ：
本项目待开发片间混合键合可以实现百纳米至微米的键合节距，可以变革性改善片内与片间互连能力失调的严重问题。界面缺陷、沾污等会在键合界面产生界面空洞，进而对键合强度产生影响，超声扫描设备是表征界面空洞的尺寸和数量的必要检测设备，因此急需此设备开展芯片至晶圆键合界面的质量评估进而支撑键合工艺优化。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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