光刻机配套涂胶显影机
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
光刻机配套涂胶显影机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：光刻机配套涂胶显影机。采购标的主要功能：。主要目标：涂胶膜厚均匀性：小于；显影条宽均匀性（.测试）：小于；晶圆尺寸：或； 。采购数量：台 。采购标的所需质量：提供满足光刻最大机分辨率及可重复性要的光刻胶薄膜及显影方案。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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