深圳技术大学蝶形腔式意向公开
采购单位:
深圳技术大学
项目名称:
蝶形腔式
预算金额（元）:
,,.
采购品目:
其他真空获得及应用设备
采购需求概况:
微波等离子体化学气相沉积系统主机 主要用于半导体级、光学级、热沉级单晶金刚石及多晶金刚石的生长 ★有效沉积面积不小于英寸 在衬底上生长的多晶金刚石拉曼特征峰半高宽≤- ▲多晶金刚石热导率≥ /·（需提供证明） 多晶金刚石生长速率≥ μ/ ▲厚度均匀性≤%，颜色均匀性好。测量方法：多点测量厚度，厚度均匀性=（-）/（*），、、分别是最大厚度、最小厚度、平均厚度。 薄膜沉积厚度≥ μ 真空系统 工作气压范围：~ ★极限真空：＜ 气压控制：自动稳压，稳压范围包含～ 真空泵：旋片式机械泵，抽气速率≥. / 真空密封：腔体采用双层氟胶圈密封，其余除必要机构外均采用金属密封 真空测量：配备两个进口薄膜规，量程分别包含：~ 和~ ▲机械泵配备油雾分离器 ▲配备真空微尘分离器 微波系统 ★微波频率：± 微波反射保护：环形器，水负载 微波调谐：阻抗调配器，模式转换天线 ★微波泄漏功率密度：≤ / 输出功率≥，以上连续可调 自动控制系统 配置控制的不小于”触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸屏上完成 系统自带全自动抽气、起辉、升温、降温等预设流程，用户操作简便 系统支持全自动温度控制、气压控制 ▲系统可设置不少于套工艺配方，每套配方不少于行数据。工艺数据可通过备份盘备份导出 气路系统 气路管路材质：级钢管 系统自带五路高精度数字式，可扩展到六路 标配五路最大流速：: ，：，：，：，：. 冷却系统 ▲配....
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