-介质电感耦合等离子体刻蚀设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
-介质电感耦合等离子体刻蚀设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：-介质电感耦合等离子体刻蚀设备。采购数量为台。采购标的主要功能：满足英寸晶圆薄膜刻蚀腔体，腔体数量为个，个腔体为刻蚀，个腔体为刻蚀，用于刻蚀 等介质薄膜材料薄 ，膜片刻蚀内均匀性≤%；薄膜片间均匀性≤%，采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后月内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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