等离子体增强化学气相沉积设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
等离子体增强化学气相沉积设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
设备名称：等离子体增强化学气相沉积设备。采购数量；台。采购标的主要功能：用于生长氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，镀膜均匀性≤±%，质量、服务、安全、时限：提供英寸晶圆生长腔体，具备个腔体生长氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，有英寸传输平台与片库，提供设备验收合格后年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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