英寸刻蚀机
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
英寸刻蚀机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：英寸刻蚀机。采购标的主要功能：通过化学反应及物理轰击对晶圆表面的金属、半导体、绝缘体进行高精度刻蚀。主要目标：同时具备 、、等模式刻蚀 工艺控压精度: . ; 工艺腔室控压范围 .-; 上电极可用功率范围: ~; 射频精确度 ± % 晶圆尺寸 。采购数量：台 。采购标的所需质量：兼容多种刻蚀模式（、、）要求小孔多层膜刻蚀垂直度度到度之间 刻蚀表面及侧壁粗糙度低、片内刻蚀控制精度高、片间刻蚀误差小于%。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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