英寸晶圆快速退火炉
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
英寸晶圆快速退火炉
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：英寸晶圆快速退火炉。采购标的主要功能：小尺寸 器件研制中需要对制备的器件进行高温快速退火处理以提升器件的电学性能。主要目标： 温度范围-℃ ；配置两句路气体 （氮气 氧气）；支持真空及常压模式；晶圆尺寸 。。采购数量：台 。采购标的所需质量：退火过程中温度设置值与实际值误差在%以内。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
快捷阅读
