板材金属化设备
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
板材金属化设备
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-样品前处理及制备仪器
采购需求概况 ：
在使用特种感光介质材料通过曝光显影工艺实现超小节距盲孔，因感光介质材料无法通过化铜工艺沉积种子层，所以需要通过溅射实现板级介质表面的金属化。急需利用此设备开展用于埋入式基板技术研究和工艺开发，支撑后摩尔时代的技术跨越
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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