吋晶圆级等离子体增强化学气相沉积
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
吋晶圆级等离子体增强化学气相沉积
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
项目设计制备具有多种元素掺杂的无定形碳化物薄膜介质材料来替代传统二氧化硅介质材料，通过在介质界面处形成蓄水池结构，从而有效抑制水汽等副产物带来的孔洞问题。此外，芯片的多层堆叠需要涉及带有临时键合胶的薄晶圆沉积工艺，要求沉积温度低于℃，晶圆制造段设备主要用于氧化物沉积无法满足三维异质异构集成所需薄膜种类和沉积温度需求，项目承担单位目前无相关设备，因此急需要购置本设备用于三维异质异构集成技术开发。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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