高精度扫描电子显微镜 项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向 采购单位: 中国科学院微电子研究所 采购项目名称: 高精度扫描电子显微镜 预算金额: .万元(人民币) 采购品目: -扫描仪 采购需求概况 : 采购标的名称:高精度扫描电子显微镜。采购标的主要功能:通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。主要目标:电子源尺寸小于,能量扩展范围小于. 分辨率:.(), .(,非减速),.(,减速*),. (,);采购数量:台 。采购标的所需质量:放大倍率: :×~,,×(以底片输出计算方式) :×~,×(以底片输出计算方式) 可靠性高 易操作 。服务、安全、时限要求:提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。 预计采购时间: - 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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