/英寸精度光刻机
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
/英寸精度光刻机
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：/英寸精度光刻机 。采购标的主要功能：光刻及以上光刻胶图形 。主要目标：最大分辨率：；叠加精度：≤；晶圆尺寸：或 。采购数量：台 。采购标的所需质量：光刻出胶图形及小孔 不同材料基底上可重复 。服务、安全、时限要求：提供设备验收合格后年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后年内交货安装完成。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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