无掩膜直写光刻系统
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
无掩膜直写光刻系统
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
.单重直写分辨率；×有效直写面积；标配波长高性能直写光源；可增配选件-,升级波长光源至波长光源；最大适用于寸晶圆
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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