吋射线光电子能谱仪
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
吋射线光电子能谱仪
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-射线式分析仪器
采购需求概况 ：
键合工艺参数和键合后界面质量强烈依赖于激活后介质和金属的组成成分和化学价态，射线光电子能谱仪是对材料表界面组成成分和化学价态进行分析的必要表征设备，因此急需利用此设备开展芯片至晶圆键合表界面的组成成分和化学价态分析，支撑激活和键合工艺的开发。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
发布媒体:
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