吋晶圆/芯片自动光学检测
项目所在采购意向：
中国科学院微电子研究所年至月政府采购意向
采购单位：
中国科学院微电子研究所
采购项目名称：
吋晶圆/芯片自动光学检测
预算金额：
.万元(人民币)
采购品目：
-光学测试仪器
采购需求概况 ：
，开展芯片表面以及芯片贴装的膜表面的颗粒沾污检测，并嵌入至工艺流程的在线检测步骤，实现存储和逻辑芯片的界面无空洞键合和超高密互连。项目承担单位目前无相关设备，急需该设备支撑项目研发。
预计采购时间：
-
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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